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光刻胶实验室的建设包括哪些内容?
废液与固废管理:实验产生的废光刻胶、显影废液、清洗废水等属于危险废物,需分类收集,并委托有资质的单位进行安全处置。
安全防护:实验室需配备防爆电气、可燃/有毒气体监测报警装置、应急喷淋和洗眼器等安全设施。
6 特殊设施与动力支持
超纯水与特气系统:研发和清洗过程可能需要超纯水。特殊气体(如高纯氮气)的稳定供应也是某些工艺所必需的。
稳定电力:保障设备特别是精密仪器(如曝光机)的电力稳定,需考虑不间断电源(UPS)和防静电措施。
老化测试设施:用于评估光刻胶材料的长期稳定性,此类设施需具备精准的温湿度控制能力。
7 团队建设与运营管理
人才队伍:需组建由化学、材料、微电子等专业背景人员构成的研发团队,包括研发工程师、工艺工程师和检测人员。
管理体系:建立标准操作规程(SOP)、质量管理体系(如CNAS认可)和开放共享机制,确保实验室高效规范运行。
8重点推荐
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