化合物半导体实验室建设需要什么条件

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增大字体作者：本站来源：本站整理发布时间：2025-12-24 19:04:50

安全是实验室一切工作的前提。

特种气体与化学品管理：化合物半导体工艺涉及大量有毒、腐蚀性、易燃易爆的特种气体和化学品（如磷烷、砷烷等），需要建立高度可靠的气体输送系统、尾气处理装置和严格的安全操作规程。

严格的设施标准：实验室的配电、空调、通风系统需满足精密设备的特殊要求，例如保证电源质量稳定，空调系统能精确控制温湿度等。

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